真空紫外可调光源

真空紫外光可调光源 (TLS)分辨率为 0.1 nm，波长范围100-300 nm，它包含氘灯、焦距1/3 米真空紫外单色仪、碲化铯光电倍增管、Labview 接口和控制电路，计算机控制。这种光源是波长110 - 300 nm 范围内的NIST溯源的校准标准。它可以使用 Labview软件自动设定波长。这个真空光谱仪可有多种操作模式供选择。作为真空紫外标准光源使用时，可以选用NIST溯源的光电倍增管监控光源的强度。

真空紫外光可调光源包括以下部件：

1. 1/3 米焦距凹面全息光栅真空单色仪 VM327。
2. 射频驱动高稳定性的氘灯，包括电源和真空封装以及MgF2 窗口。
3. 优化于 110 至 320 nm 的碲化铯光电倍增管探测器。
4. 准直装置，带有一个工作于真空中的抛物面镜，该抛物面镜可以旋转，使光束对准 PMT以监测其强度，或对准出口窗口作为标准光源。
5. PC 控制的高精度步进电机。
6. PC 控制的数据采集系统。
7. 用于数据采集和进行波长扫描的软件系统。
8. 安静小巧的真空泵系统，包括多个真空规。

主要性能指标：