STEVEN  SEPVEST   STEVEN SEPVEST CORP.

Home Up Products_Chinese Products Partners Feedback Sitemap

真空紫外光源

真空紫外到可见线谱和连续谱系列光源.射频激发,带有氟化镁窗口,体积小巧,重量轻,稳定性优异,广泛用于真空紫外类仪器的光谱定标,著名的哈勃望远镜上就采用我们这种光源作为波长和强度校正基准。147nm172nm的氙灯广泛用于PDP研究和生产线质量监控。

射频激发的真空紫外光源,其主要特点有:
1.稳定性优异.哈伯望远镜上就是采用这种光源作为校正基准. 其波长决定于原子的特征谱线,半高宽通常在10^-4nm量级.激发方式为射频,没有电极,因而避免了一般电极放电导致的强度不稳定.
2.强度高.
3.使用寿命长,发光时间超过4000小时.
4.真空接口方便灵活.
5.可以提供航天级超小超轻型,经过Space Qualified整套严格测试。
6.可以根据客户的特殊需要定制,提供包括带有真空紫外光谱仪和可NIST溯源的标准探测器在内的全套系统。应用实例:NIST溯源真空紫外连续可调光源

我们提供以下真空紫外灯:

气体种类 峰值波长(nm) 强度 (phts/sec/str)
Kr 116.5, 123.6 3 x 10^15
Xe 147 5 x 10^15
Ar 106.0 3 x 10^13
Hg 184.9 8 x 10^15
O 130.2 3 x 10^13
N 120.1 5 X 10^12
Cl 118.9 5 X 10^12
H 121.6 1 X 10^14
D2 115 到200连续谱  

大功率的真空紫外光源REX-4,广泛用于半导体材料的表面清洗。

波长小于115nm的光源,可以参考我们的极紫外气流光源。 

真空紫外光源氟化镁窗口清洗说明

真空紫外光源选用高品质的氟化镁窗口,以确保真空紫外波段的高透过率。实际使用中由于空气中少量的有机物进入到真空腔内,在紫外光的照射下,会形成光聚合物薄膜,附着在氟化镁窗口上。这种聚合物就是真空紫外污染,它对真空紫外波段的光吸收特别强,导致光源的强度衰减,衰减的速度受多种因素的影响,比如空气质量、真空度的高低等等。不抽真空直接打开光源,其强度会迅速下降。有些时候,不小心手指头碰到氟化镁窗口显然也会导致窗口片的退化。

出现这些问题,可以通过清洗氟化镁窗口来修复:

用棉棒沾一点抛光粉( 1微米氧化铝粉末)轻轻擦拭氟化镁窗口,重复多遍直到窗口片清洁为止,然后用干净的棉棒拭去抛光粉。窗口片上剩余的少量抛光粉对光的吸收微不足道,如果需要,可以用高纯度的惰性气体或氮气吹走,千万不要用实验室普通的空气压缩机来吹,因为它可能含有压缩机油。

 



STEVEN SEPVEST CORPORATION
9720 Capital Ct, Suite 404B, Manassas, VA 20110, USA
TEL: (703) 547-8930     Fax: (703) 891-9809
Email: sales@sepvest.com
欢迎中文来信