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真空紫外光源
真空紫外到可见线谱和连续谱系列光源.射频激发,带有氟化镁窗口,体积小巧,重量轻,稳定性优异,广泛用于真空紫外类仪器的光谱定标,著名的哈勃望远镜上就采用我们这种光源作为波长和强度校正基准。147nm和172nm的氙灯广泛用于PDP研究和生产线质量监控。 射频激发的真空紫外光源,其主要特点有: 我们提供以下真空紫外灯:
大功率的真空紫外光源REX-4,广泛用于半导体材料的表面清洗。 波长小于115nm的光源,可以参考我们的极紫外气流光源。 真空紫外光源氟化镁窗口清洗说明真空紫外光源选用高品质的氟化镁窗口,以确保真空紫外波段的高透过率。实际使用中由于空气中少量的有机物进入到真空腔内,在紫外光的照射下,会形成光聚合物薄膜,附着在氟化镁窗口上。这种聚合物就是真空紫外污染,它对真空紫外波段的光吸收特别强,导致光源的强度衰减,衰减的速度受多种因素的影响,比如空气质量、真空度的高低等等。不抽真空直接打开光源,其强度会迅速下降。有些时候,不小心手指头碰到氟化镁窗口显然也会导致窗口片的退化。 出现这些问题,可以通过清洗氟化镁窗口来修复: 用棉棒沾一点抛光粉( 1微米氧化铝粉末)轻轻擦拭氟化镁窗口,重复多遍直到窗口片清洁为止,然后用干净的棉棒拭去抛光粉。窗口片上剩余的少量抛光粉对光的吸收微不足道,如果需要,可以用高纯度的惰性气体或氮气吹走,千万不要用实验室普通的空气压缩机来吹,因为它可能含有压缩机油。
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