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原子氧综合模拟试验设备

Resonance公司生产的原子氧综合模拟试验设备,包括原子氧发生器和原子氧密度剖面仪。它用于将航天器材料暴露在模拟低地轨道条件的热原子氧和真空紫外光-紫外光之下,以测试材料的性能退化。通过对氧分子进行射频电离,在试验设备的样品仓中产生氧原子。用 RFX-500 大功率制氧机可以产生达到 1015 原子/立方厘米的原子氧浓度。这相当于约 2x1016 平方厘米/秒的原子氧通量(相当于用 Kapton 剂量仪测得的 5 eV 原子氧通量)。

Resonance公司生产的原子氧密度剖面仪,采用共振吸收技术,可以原位测量材料样本的原子氧密度剖面。其工作原理是使一束氧 130.2 nm 共振峰的光线穿过样品仓。这束光被样品仓中的氧原子所吸收,吸收量由日盲型真空紫外探测器进行测量。通过扫描可确定样本的密度剖面。

Resonance公司还生产模拟太阳光谱的紫外光源和真空紫外光源,用来评估同时暴露在紫外光和原子氧之下的效应。我们的紫外、真空紫外光源和原子氧密度剖面仪接口灵活,可以适用于任何现有的原子氧发生装置。Resonance 的原子氧综合模拟试验设备有三个不同的配置。完整系统 (ATOMS-SX) 和标准系统 (ATOMS-S) 均可以进行原子氧与真空紫外辐射复合效应试验,同时原位测量原子氧密度剖面。

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完整系统(包括泵)安装在 47.5 厘米(19 英寸)的标准支架上

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标准系统安装在 1.8 米(72 英寸)的全高支架上超小型系统安装在半高支架上

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原位原子和分子吸收及荧光测量系统

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OAMS 和 NAMS:氧吸收测量系统和氮原子测量系统

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剖面系统:辐照度,原子氧密度和原子氮密度剖面仪

子系统和可选设备

原子氧样品仓 (AO-EC)

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Pyrex真空室

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直径 5 厘米的圆形样品座,可快速拆卸

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进气口歧管

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出口泵歧管,带臭氧过滤器和节流阀

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用于其他样品座、RGA、原子氧密度剖面仪、真空紫外光-紫外光太阳光模拟器的多个端口

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双热电偶真空规,以监测真空泵和样品仓的真空度

真空紫外光-紫外光太阳光模拟器 (VUV-UV-SS)

bullet3 个真空紫外光-紫外光源,波长范围为 115-400 nm
bullet用大于一个太阳 (solar equivalent) 的真空紫外光和紫外光照射样本
bullet带有灯接头(3 组)的 CF 固定法兰
bullet内含以下灯:
bullet氪连续源 (KrCM-L)
bullet氙连续源 (XeCM-L)
bullet氙闪光灯 (XeCQ-LF) 

 

原子氧综合模拟试验设备,包括原子氧发生装置源、真空紫外光和紫外光源以及原子氧剖面仪

原子氧综合模拟试验设备,带有因氮原子再结合而产生的 Lewis Rayleigh 余辉

原子氧综合模拟试验设备的特点

bullet模拟近地轨道:样本暴露在连续的热氧原子流之下。
bullet高流量:原子氧通量为 2x1019 平方厘米/秒(最高达 2x1016 平方厘米/秒,相当于用 Kapton 剂量仪测得的 5 eV 原子氧通量)。
bullet快速:半小时即可测量 Kapton 侵蚀。典型样本暴露时间是 2 小时。
bullet无污染:样品位于活性等离子下游,并且与等离子灰化机不同,样品不会暴露在失控的离子、亚稳态物或紫外光辐射之下。
bullet太阳光模拟:能用 3 个真空紫外光源和紫外光源同时进行太阳光模拟。
bullet原位原子氧密度:通过共振吸收可测量样本的原子氧密度剖面。 

参考文献:

Ingle, N. J. C. (1999) The generation and detection of high flux atomic oxygen for physical vapor deposition thin film growth. Applied Physics Letters 75(26)



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